Anatel UP100超纯水颗粒在线检测仪
Ultrapure-100包括充沛的光电系统、计数和通讯电路、一个独特的流速控制系统,所有的都集成在一起能满足各种应用。例如在DI water制造厂内监控,整个系统的流速超过of 1.0 L/min,这样结果就有非常快的清洗,恢复时间及精确的流速,甚至于动态的入口压力.
Ultrapure-100是一个近似于完美的系统,特别易于安装或集成到现在系统中。如FMS(facility monitoring system )或 BMS(building management system)。也可以选择作为一个独立的测试仪器,还有许多可用的兼容配套软件。
特点:
0.1和0.2μm的标准颗粒尺寸,可在0.1和5.0μm范围内定制
极好的流量控制和动态的入口压力调节具备极快的清洁和恢复时间
高流速保证了快速的清洗时间
优秀的流量调节,一体化设计保证了低维护量
激光能量诊断,颗粒计数软件和完全的可追溯NIST标准4-20mA输出
应用:
电子半导体制造超纯水系统颗粒计数检测
性能:
测量粒径尺寸(μm):0.1,0.2 系统流速>1L/min
样品流速 10ml/min, 样品压力设置30-100psig
光源采用激光二极管