DKG-ONE CF4 气态分子污染物四氟化碳CF4泄漏分析仪
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人气：2987 发布时间：2020-05-26 10:46 关键词：CF4泄漏分析仪 四氟化碳检测 分子污染物检测 洁净室CF4检测仪 半导体CF4检测仪 产品型号：DKG-ONE 应用领域：大气控制 产品价格： 想了解更多产品详情，请 |
技术应用
l GASERA ONE CF4分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度以无时延的探测最微小浓度的CF4喷溅或者溢出，同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了总体持有成本。
l 运行条件
温度范围：0℃…+49℃
湿度：无凝露
压力范围：750mbar-1050 mbar
防尘/水等级：IP20 (IEC 529)
l 储存条件
温度范围：-20 ℃ ~+60 ℃
l 样品气体条件
温度范围：0 ~ +49 °C
湿度：无凝露，温度达35°C时最大相对湿度80%，温度达49°C时线性下降至35%
压力：750 mbar…1050 mbar
气流：约1L/min
颗粒物< 1 μm
测量参数
l 响应时间：取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约15秒到几分钟不等
l 监测下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb
l 动态量程：5个数量级（检测下限的100,000倍)
l 重复性：运行条件下，校准浓度重复性小于1%
l 准确度：校准浓度下好于5%，受限于校准气体准确度
l 温度稳定性：在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移
l 压力稳定性：压力范围内的样品压力变化不会导致漂移
可靠的监测
l 高灵敏度的GASERA ONE CF4可以在生产环境中快速的探测污染物。另外，直接吸收式的检测因其零背景的性质，可保证长期高稳定性。GASERA ONE CF4可与其他检测仪器，如颗粒物监测仪等，整合在一个机柜里。
优势
l 准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制
l 快速的响应时间，以捕捉急速上升的浓度
l 独立运行系统，内置气体交换泵
l 无耗材或者化学试剂
l 短光程，单点校准也可达到业内领先的动态量程
l 直接吸收测量，无漂移
l 校准间隔长（可达数年）
l 高选择性，不受乙醛和其他VOC的干扰
特点
l 高选择性的监测痕量水平的CF4
l 检测下限(LoD)低于0.1 ppb
l 响应时间可设置，从10秒到几分钟
l 动态范围宽，运行稳定
l 无耗材
l 低样品量（几ml）
l 内置气体交换系统
l 重新校准间隔长（几个月）
l 直观的用户界面
l 内置显示屏，可数字式或者图线式显示结果
l 可通过局域网远程操作
