多晶硅生产企业废水处理工程设计与应用
摘要：针对多晶硅生产企业面临的污水处理问题，探讨了多晶硅生产企业废水处理的工程设计原则、方法及应用需 求.通过分析多晶硅生产企业污水水质的特性。提出一种分段处理的废水处理工艺方法，实际应用取得了显著的环境效益、经济效益和社会效益。
关键字：多晶硅生产，废水处理，工程设计
0引言
多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池的关键基础材料。是国家发展信息产业和光伏新能源产业的重要基石。然而在生产过程中，多晶硅生产企业产生大量成分复杂的工业废水，如不能很好地处理，势必严重污染水体，危害环境。因此，如何处理生产废水成为多晶硅生产企业环境治理必须解决的一个重大课题。
1多晶硅生产废水的来源及特点
在多晶硅生产过程中需要对含硅原料用氢氟酸、硝酸等强酸进行适当的腐蚀，因此生产过程将产生大量酸性废水。
1.1水质分类及其来源
根据水质分析，将多晶硅生产企业的废水分为含氟酸性废水、其他生产废水和生活污水共3类。
(1)含氟酸性废水。主要来自洗料车间多晶硅原料的浸泡工段、清洗工段以及酸雾处理中喷淋塔排出的喷淋废水等。根据含氟离子的浓度大小，又将其分为高氟废水和低氟废水。
(2)其他生产废水。主要指清洗剂、切割液等类物质的清洗废水、碱洗塔废水等，这类废水不含F-。
(3)生活污水。主要来源于生产区卫生用水、生活行政区生活污水等。
1.2水质特点分析
(1)由于其水量、水质的变化幅度较大，pH值不稳定，需要集中调节、中和处理。
(2)F-与硝酸根离子浓度高，需要针对性去除。不仅含氟量较高，且含有一定量的色度和悬浮物，因此处理难度大。高含氟废水的F-质量浓度在1.0—15g/L，低氟废水的F-质量浓度在200mg/L左右。
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