半导体芯片厂超纯水
来源:上海汉华水处理工程有限公司 阅读:2711 更新时间:2008-12-01 15:05详细信息 | |||||
项目名称 | 半导体芯片厂超纯水 | ||||
建设地点 | 建设起始时间 | 建设结束时间 | |||
建设性质 | 新建 | 工程投资 | 废水性质 | ||
处理规模 | 进水水质 | 出水水质 | |||
处理工艺 | 运行费用 | 承包范围 |
工程说明
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半导体芯片厂超纯水 TOC<10ppb 颗粒度(PARTICLE)达0.5um≤200PCS/L 二氧化硅SiO2<5ppb 电阻率≥18MΩ.cm(25℃) 采用高纯度PVDF管路 |
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工程图片

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