微波设备反应部分
包括（1）微波源（2）谐振腔（3）微波源操作台
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微波设备反应部分为该处理工艺的核心部分。
通过微波场对吸波物质的选择性加热、低温催化、快速穿透等功能，达到去污效果。
水中污染物是在添加剂与微波的共同作用下，对水中污染物进行“电磁振荡”，低温加热催化，把长链大分子多糖物质，断链化解为短链小分子、单糖物质的催化、物化反应（如破坏显色基团而脱色），把水溶性有机污染物质转化为简单的无机物质、H2O和CO2、H2、N2等气体，不溶（或难溶）性物质和金属离子等同添加剂结合，生成沉降性强的聚
凝絮体物，分离去除亦达到了脱氮除磷的效果，污染物去除率高达90%以上。
另外，由于微波对废水中的细菌、藻类等微生物的细胞有强烈的杀灭功效，所以该技术的杀菌灭藻能力极强。
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微波源为微波发生系统 |
它的功率和频率根据水量和水质的不同所选定，有2450MHz、915MHz两种民用频率。2450 MHz的微波发生器每支磁控管有效功率为750W，视载功率为800 W。915 MHz的微波发生器每支磁控管功率为20KW，视载功率为35KW。根据机组不同的处理量有不同的功率组合；微波发生器通过波导管进入谐振腔：谐振腔的大小根据微波的功率、频率不同所选定，它们的设计根据微波的发射、传输、工作原理来进行，在此不一一赘述。
实验证明，在单位体积的物质内被吸收的（转化为热能损耗）微波功率Pa，与电场（磁场）强度E、物质的损耗角正切tgδ和频率f成正比关系。物质在微波场中吸收的微波能全部转化为热能，所以Pa即为单位时间内在单位体积物质中产生的能量。
通过上面的论述，要想提高单位体积的物质内被吸收的（转化为热能损耗）微波功率Pa，只有增强电场（磁场）强度E、物质的损耗角正切tgδ和频率f。
我们知道，谐振腔电场E的分布与微波传输方向互相垂直。微波馈能口方向的选择刚好根据这一特点确定的。谐振腔上的两个发射口刚好使微波电场E形成互相垂直的关系。在谐振腔内形成无数个谐振点，大大增强了电场E。从而提高了单位体积的物质内被吸收的（转化为热能损耗）微波功率Pa。
2450MHz的设备没有操作台；915MHz的设备设有专门的微波源操作台。安装时，操作台和整个机组的设备操作平台排放在一起，这样便于集中控制。
个机组也可以做成自动控制的模式，用触摸屏集中控制、自动运行。
微波化学污水处理机组设备附下图：
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